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Patterned with techniques including photo and electron beam lithography, nanoimprint, and self assembly. ¡X�ddjd�j¦ ðV]8X€x�ðˆ² ð8 ³ ðX€û¿AÁ?¿Ëœ1ÿ?€Ã¿Picture 6"ñÌ©ÃÆPK!‰ð{í…[Content_Types].xml|�ANÃ0E÷HÜÁòÅ,BIº °„ÊFö$±�-� ííqÚ²A¨K{æýÿ4Ífïg±`b¨•·ª–Éëhlåçö¥z�‚3�…9¶ò€,7ÝõU³=DdQhâVN9ÇG­ÙLè�UˆHe2„ä!—gu³ƒõ]]ßk(#å*¯²kzàkÎây_¾O&—âé´·Vµbœ��\Dõ:Õÿr g¾.dÿØUg3UÈc8O.ò͹᭜&9‹âR~_<´M¬mø¦„‹º¬¹¶y®Â08ƒªOÜì—ßt}€±•Ä,¶Œd²õígzjÇŽ’ø?IÃá'­f#ÑÈÙ®ëÁPöbž-\/Ç·0Z]nåLn¤p__†3­®¶�.±¨iJV K­åQýBÉiÇ…r›L,ÉÕVÊŒÅù/7¾÷ýåÑ€ñÉ4§`ANaær+mó;E/¬<ÕÎsBž¦èÿS1ðw>ÓÖ'3U AôÞÚºvà8àÓ3ã/ÿÿPK!È@%Æàdrs/downrev.xmlDOÍJÃ@¾ ¾Ã2‚±•Ø4v[¤ ¤�0dÇlÚìlÌnÒèÓ;ÁãÇ÷¿ÞξS ± làn‘�"®ƒm¹1ðQ½Ü bB¶Ø&ßa»¹¼XciÙ÷4R£$„c‰\J}©u¬yŒ‹Ð ÷�IàÐh;àYÂ}§ï³ìQ{lYö´sTŸ£7P¹]^%ýµœNoËñ¸ZݼÿGc®¯æç'P‰æô/þs¿Z™ÿPy.ä� Л_ÿÿPK-!‰ð{í…[Content_Types].xmlPK-!Zô,[¿ _rels/.relsPK-!È@%Æàdrs/downrev.xmlPK·ùð fÖð,$ñDð%¢ ð8 à ð^#Q&…‡¿�¿Ëœ1ÿ?€Ã¿Text Box 8"ñß©ÃÙPK!‰ð{í…[Content_Types].xml|�ANÃ0E÷HÜÁòÅ,BIº °„ÊFö$±�-� 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Š0º___PPT10‹± ðRŸ âMaterials that can be interrogated to  report the state of their environment, for instance through variable conductivity, luminescence, or biological recognition. The challenge will be integrating the fragile functional materials into the harsh process conditions required for semiconductor fabrication, and for biological specimens working in fluid environments. ¡@¥ddÌdr¦ ðV]8X€x�ðƒ ðw ð>(øà ð@C ð,á€Ã¿Group 154#"ñÏ©ÃÃPK!‰ð{í…[Content_Types].xml|�ANÃ0E÷HÜÁòÅ,BIº °„ÊFö$±�-� ííqÚ²A¨K{æýÿ4Ífïg±`b¨•·ª–Éëhlåçö¥z�‚3�…9¶ò€,7ÝõU³=DdQhâVN9ÇG­ÙLè�UˆHe2„ä!—gu³ƒõ]]ßk(#å*¯²kzàkÎây_¾O&—âé´·Vµbœ��\Dõ:Õÿr g¾.dÿØUg3UÈc8O.ò͹᭜&9‹âR~_<´M¬mø¦„‹º¬¹¶y®Â08ƒªOÜì—ßt}€±•Ä,¶Œd²õígzjÇŽ’ø?IÃá'­f#ÑÈÙ®ëÁPöbž-\/Ç·0Z]nåLn¤p__†3­®¶�.±¨iJV K­åQýBÉiÇ…r›L,ÉÕVÊŒÅù/7¾÷ýåÑ€ñÉ4§`ANaær+mó;E/¬<ÕÎsBž¦èÿS1ðw>ÓÖ'3U AôÞÚºvà8àÓ3ã/ÿÿPK! ˜ÿõÃÛdrs/downrev.xmlDOMkƒ@½ú– ô–¬¶DŠÉF$´¥)ÄJoƒ;Q‰;+îVÍ¿ï ¹Íã}Î.›M'F\kYA¼Ž@WV·\+ø:½­^@8�¬±³L ®ä Û?,v˜j;ñ‘ÆÒ×"„°KQAã}ŸJ骆 ºµí‰w¶ƒAàPK=àÂM'Ÿ¢(‘[ öth¨º”¿FÁû„Sþ¿ŽÅå|¸þœ6ŸßELJ=.ç| ÂÓìïâ÷‡ó¸ý�û?ÿÿPK-!‰ð{í…[Content_Types].xmlPK-!Zô,[¿ _rels/.relsPK-! ˜ÿõÃÛdrs/downrev.xmlPK·öð(>øàð,$ñDðh ð@ à ðdï€CR&…‡¿�¿Ëœ1ÿ?€Ã¿Rectangle 123ðP(øàðˆˆ€Š@º___PPT11‹ ¶ Ü TdmanL 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